メッキ銅配線層の薄膜効果による比抵抗の増加
書誌事項
- タイトル別名
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- メッキ ドウ ハイセンソウ ノ ハクマク コウカ ニ ヨル ヒ テイコウ ノ ゾウカ
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収録刊行物
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- 法政大学イオンビーム工学研究所報告
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法政大学イオンビーム工学研究所報告 (23), 27-29, 2002
小金井 : 法政大学イオンビーム工学研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009408293199360
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- NII論文ID
- 40006202436
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- NII書誌ID
- AN00354689
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- ISSN
- 02860201
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- NDL書誌ID
- 6870918
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
