直接窒化膜を界面制御層に用いたSiC MIS構造の作製

書誌事項

タイトル別名
  • チョクセツ チッカ マク オ カイメン セイギョソウ ニ モチイタ SiC MIS コウゾウ ノ サクセイ
  • Fabrication of SiC MIS structure using direct nitridation layer as an interfacial layer
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ザイリョウ

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