大電力パルススパッタ法によるスピント型陰極作製における放電ガス(アルゴン、クリプトン)の効果
Bibliographic Information
- Other Title
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- ダイ デンリョク パルススパッタホウ ニ ヨル スピントガタ インキョク サクセイ ニ オケル ホウデン ガス(アルゴン 、 クリプトン)ノ コウカ
- Effects of discharge gas species (Ar, Kr) on fabrication of Spindt type emitter cathode using high power pulsed magnetron sputtering
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Journal
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118 (263), 5-8, 2018-10-24
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009408441799040
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- NII Article ID
- 40021713360
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 029324531
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN