メタン及び窒素プラズマソースを用いて作製したアモルファスカーボン薄膜の特性評価
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- Other Title
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- メタン オヨビ チッソ プラズマソース オ モチイテ サクセイ シタ アモルファスカーボン ハクマク ノ トクセイ ヒョウカ
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105 (89), 27-31, 2005-05-26
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009408554840064
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- NII Article ID
- 10016151183
- 10016151618
- 10016152053
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
