ダブルパターニングにおけるリソグラフィECOのためのパターン局所修正法
Bibliographic Information
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- ダブルパターニング ニ オケル リソグラフィ ECO ノ タメ ノ パターン キョクショ シュウセイホウ
- Local Pattern Modification Method for Lithographical ECO in Double Patterning
- VLSI設計技術
- VLSI セッケイ ギジュツ
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Journal
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 113 (454), 87-92, 2014-03
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009408697849472
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- NII Article ID
- 110009862573
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 025409744
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles