半断線ビア抵抗を検出するためのスクライブライン搭載アレイTEG技術の開発

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  • ハンダンセン ビア テイコウ オ ケンシュツ スル タメ ノ スクライブライン トウサイ アレイ TEG ギジュツ ノ カイハツ
  • Development of a compacted doubly nesting array in Narrow Scribe Line aimed at detecting soft failures of interconnect via
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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