r面サファイア上a面AlNスパッタ膜の高品質化と特性評価

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Other Title
  • rメン サファイア ジョウ aメン AlN スパッタマク ノ コウヒンシツカ ト トクセイ ヒョウカ
  • Quality improvement and characteristic evaluations of sputter-deposited a-plane AlN on r-plane sapphire
  • 電子部品・材料
  • デンシ ブヒン ・ ザイリョウ

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