解説 高密度光集積回路へ向けた金属光配線技術
Bibliographic Information
- Other Title
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- カイセツ コウミツド ヒカリ シュウセキ カイロ エ ムケタキンゾク ヒカリ ハイセン ギジュツ
- 2001年光学界の進展/微細光回路の新展開
- 2001ネン コウガクカイ ノ シンテン ビサイ コウカイロ ノ シン テンカイ
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Journal
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- 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
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光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 31 (5), 423-428, 2002-05
東京 : 日本光学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009408969456768
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- NII Article ID
- 10012334105
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- NII Book ID
- AN00080324
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- ISSN
- 03896625
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- NDL BIB ID
- 6168766
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles