Impact of metal gate electrodes on electrical properties of InGaAs MOS gate stacks

Web Site

Bibliographic Information

Other Title
  • InGaAs MOSゲートスタックの電気特性に与えるメタルゲート電極の影響
  • InGaAs MOS ゲートスタック ノ デンキ トクセイ ニ アタエル メタルゲート デンキョク ノ エイキョウ
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

Search this article

Journal

Keywords

Details 詳細情報について

Report a problem

Back to top