InGaZnOチャネルの酸素制御とGate/Drain Offset構造によるBEOLトランジスタの高信頼化

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タイトル別名
  • InGaZnO チャネル ノ サンソ セイギョ ト Gate/Drain Offset コウゾウ ニ ヨル BEOL トランジスタ ノ コウシンライカ
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ ・ デバイス

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