高い選択比をもつSiNxエッチングガスを用いたFinFET構造の作製

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  • タカイ センタクヒ オ モツ SiNx エッチングガス オ モチイタ FinFET コウゾウ ノ サクセイ
  • Fabrication of FinFET Structure with High Selectivity Etching Using Newly Developed SiNx Etch Gas
  • 電子ディスプレイ
  • デンシ ディスプレイ

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