対向ターゲット式反応性スパッタ法によるCu-Al-O薄膜の作製と熱処理効果
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- Other Title
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- タイコウ ターゲットシキ ハンノウセイ スパッタホウ ニ ヨル Cu Al O ハクマク ノ サクセイ ト ネツ ショリ コウカ
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 104 (425), 27-31, 2004-11-11
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009409333961728
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- NII Article ID
- 110003204875
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 7188174
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
