対向ターゲット式反応性スパッタ法によるCu-Al-O薄膜の作製と熱処理効果

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  • タイコウ ターゲットシキ ハンノウセイ スパッタホウ ニ ヨル Cu Al O ハクマク ノ サクセイ ト ネツ ショリ コウカ

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