招待講演 High-k MOSFETに固有な移動度劣化機構の提案

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  • ショウタイ コウエン High k MOSFET ニ コユウナ イドウド レッカ キコウ ノ テイアン
  • Intrinsic mobility reduction mechanism in high-k gate dielectrics
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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