薄膜受動部品を内蔵したSi貫通孔電極付パッケージ基板の開発

書誌事項

タイトル別名
  • ハクマク ジュドウ ブヒン オ ナイゾウシタ Si カンツウコウ デンキョク ツキ パッケージ キバン ノ カイハツ
  • Development of embedded passive substrate with silicon through interconnection
  • 特集 半導体パッケージ技術の最新動向 ; パッケージ基板技術の最新動向
  • トクシュウ ハンドウタイ パッケージ ギジュツ ノ サイシン ドウコウ ; パッケージ キバン ギジュツ ノ サイシン ドウコウ

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