SPMを用いたSi単結晶のナノ加工と表面の構造変化
書誌事項
- タイトル別名
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- SPM オ モチイタ Siタンケッショウ ノ ナノ カコウ ト ヒョウメン ノ コウゾウ ヘンカ
- Nanoprocessing on silicon (100) surface by using SPM and the study of the structural change
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収録刊行物
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- 愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編
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愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編 (12), 63-67, 2010-09
豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009409757364736
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- NII論文ID
- 40017292696
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- NII書誌ID
- AA11484797
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- ISSN
- 13449672
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- NDL書誌ID
- 10830742
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles