高耐圧デバイスの有効面積効率を改善する高アスペクト比ディープトレンチ終端(HARDT²)技術

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タイトル別名
  • コウタイアツ デバイス ノ ユウコウ メンセキ コウリツ オ カイゼン スル コウアスペクトヒ ディープトレンチ シュウ タン(HARDT ²)ギジュツ
  • High Aspect Ratio Deep Trench Termination (HARDT²) Technique to Improve Active Area Efficiency of High Voltage Devices
  • 電子デバイス 半導体電力変換合同研究会・パワーデバイス・パワーエレクトロニクスとその実装技術
  • デンシ デバイス ハンドウタイ デンリョク ヘンカン ゴウドウ ケンキュウカイ ・ パワーデバイス ・ パワーエレクトロニクス ト ソノ ジッソウ ギジュツ

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