多段可変自然長ばねモデルと外乱オブザーバに基づくボールねじステージの非線形摩擦補償

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  • タダン カヘン シゼンチョウ バネ モデル ト ガイラン オブザーバ ニ モトズク ボール ネジ ステージ ノ ヒセンケイ マサツ ホショウ
  • Nonlinear friction compensation of ball screw stage based on multi variable natural length spring model and disturbance observer
  • 産業計測制御研究会 ナノスケールサーボのための制御技術
  • サンギョウ ケイソク セイギョ ケンキュウカイ ナノスケール サーボ ノ タメノ セイギョ ギジュツ

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