rfマグネトロンスパッタリングによる酸化亜鉛薄膜の成膜速度
書誌事項
- タイトル別名
-
- rf マグネトロン スパッタリング ニ ヨル サンカ アエン ハクマク ノ セ
この論文をさがす
説明
記事分類: 電気工学--電子工学--電子部品--固体素子
収録刊行物
-
- 静岡大学電子工学研究所研究報告
-
静岡大学電子工学研究所研究報告 29 (2), p135-142, 1995
浜松 : 静岡大学電子工学研究所
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009410295382272
-
- NII論文ID
- 110000458578
-
- NII書誌ID
- AN00103204
-
- ISSN
- 02863383
-
- NDL書誌ID
- 3613412
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
-
- データソース種別
-
- NDLサーチ
- CiNii Articles