イオンビームスパッタリング法によるITO薄膜の低温成膜におけるイオンビーム照射効果

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電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会編

電子情報通信学会論文誌. C-2, エレクトロニクス. 2, 電子素子・応用 = The Transactions of the Institute of Electronics, Information and Communication Engineers. C-2 / 電子情報通信学会編 81 (7), 613-618, 1998-07

東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ