固相結晶成長法により作製されたlateral Power MOS FETの温度特性のデバイスパラメータ依存性

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  • コソウ ケッショウ セイチョウホウ ニ ヨリ サクセイ サレタ lateral Power MOS FET ノ オンド トクセイ ノ デバイスパラメータ イゾンセイ

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