Bibliographic Information
- Other Title
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- ハンドウタイ セイゾウ コウジョウ デ 92ジカン ノ カサイ ナンネンザイ ダッタ ハズ ノ ソウチ キョウ カラダ ニ エンショウ カ : ジコ ワ カタル
- 事故は語る：半導体製造工場で９２時間の火災 難燃材だったはずの装置きょう体に延焼か
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Abstract
未反応チタン除去装置とは、製造棟で実施していたウエハー製造工程で、金属とシリコン（Si）の合金化層（シリサイド）を形成する工程で使うもの。一部の製品では、シリサイドの金属にチタンを使用しており、その最終段階で未反応チタン除去装置を使用してい…
Journal
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- 日経ものづくり
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日経ものづくり (806), 72-76, 2021-11
東京 : 日経BP社
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410373036800
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- NII Article ID
- 40022734781
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- NII Book ID
- AA11914116
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- ISSN
- 13492772
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- NDL BIB ID
- 031792773
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM5(科学技術--科学技術一般--工学・工業)
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- Data Source
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- NDL
- Nikkei BP
- CiNii Articles