スパッタによるタングステン膜の特性と4μmグレーティングの製作
書誌事項
- タイトル別名
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- スパッタ ニ ヨル タングステン マク ノ トクセイ ト 4 マイクロm グレ
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説明
記事分類: 電気工学--電子工学--集積回路
収録刊行物
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- 電気通信大学学報 / 電気通信大学 編
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電気通信大学学報 / 電気通信大学 編 35 (1), p7-12, 1984-08
調布 : 電気通信大学
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410407583232
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- NII論文ID
- 110000264434
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- NII書誌ID
- AN00152480
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- ISSN
- 04934253
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- NDL書誌ID
- 3006321
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles