ミリ波(50GHz)平面波定在波を用いた誘電体膜厚・誘電率および金属膜厚の測定

Details 詳細情報について

• CRID

  1520009410432461056

• NII Article ID

  110000253905

• NII Book ID

  AN00138763

• ISSN

  03899268

• NDL BIB ID

  3818548

• Web Site

  http://id.ndl.go.jp/bib/3818548

  https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3818548

• Text Lang

  ja

• NDL Source Classification

  • ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)

• Data Source

  • NDL
  • CiNii Articles