金蒸着膜における内部応力の発生から緩和に至る過程
書誌事項
- タイトル別名
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- キン ジョウチャク マク ニ オケル ナイブ オウリョク ノ ハッセイ カラ
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抄録
記事分類: 物理学--分子・物性
収録刊行物
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- 阿南工業高等専門学校研究紀要 / 阿南工業高等専門学校 編
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阿南工業高等専門学校研究紀要 / 阿南工業高等専門学校 編 (20), p59-65, 1984-03
阿南 : 阿南工業高等専門学校
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520009410448643968
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- NII論文ID
- 40000097678
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- NII書誌ID
- AN00011897
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- ISSN
- 0570006X
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- NDL書誌ID
- 2980210
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZV1(一般学術誌--一般学術誌・大学紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles