小特集 環境問題へのスパッタ・プラズマ技術の展開
書誌事項
- タイトル別名
-
- ショウトクシュウ カンキョウ モンダイ エ ノ スパッタ プラズマ ギジュツ ノ テンカイ
この論文をさがす
収録刊行物
-
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
-
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 43 (7), 707-723, 2000-07
東京 : 日本真空協会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1520010380906336512
-
- NII論文ID
- 40001884218
-
- NII書誌ID
- AN00119871
-
- ISSN
- 05598516
-
- NDL書誌ID
- 5432297
-
- 本文言語コード
- ja
-
- NDL 雑誌分類
-
- ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
-
- データソース種別
-
- NDL
- CiNii Articles