新結晶・新物質 SiC上の結晶化SiON超薄膜

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  • シンケッショウ シンブッシツ SiCジョウ ノ ケッショウカ SiON チョウハクマク
  • New crystals and new materials: Crystalline SiON ultrathin film on SiC

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