新結晶・新物質 SiC上の結晶化SiON超薄膜
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- シンケッショウ シンブッシツ SiCジョウ ノ ケッショウカ SiON チョウハクマク
- New crystals and new materials: Crystalline SiON ultrathin film on SiC
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- 固体物理 / アグネ技術センター [編]
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固体物理 / アグネ技術センター [編] 43 (4), 231-237, 2008-04
東京 : アグネ技術センター
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520010381074438912
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- NII Article ID
- 40016046192
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- NII Book ID
- AN00092629
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- ISSN
- 04544544
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- NDL BIB ID
- 9509838
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles