表面改質を利用した単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速・低ダメージ加工
Bibliographic Information
- Other Title
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- ヒョウメン カイシツ オ リヨウ シタ タンケッショウ チッカ ガリウム(GaN)キバン ノ コウソク ・ テイダメージ カコウ
- Surface Modification Assisted High-Speed and High-Accurate Manufacturing of Gallium Nitride (GaN)
- 特集 次世代デバイスを支える精密仕上げ技術
- トクシュウ ジセダイ デバイス オ ササエル セイミツ シアゲ ギジュツ
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Journal
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- 精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編
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精密工学会誌 = Journal of the Japan Society for Precision Engineering / 会誌編集委員会 編 89 (5), 368-372, 2023-05
東京 : 精密工学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520015045382728448
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- NII Book ID
- AN1003250X
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- ISSN
- 09120289
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- NDL BIB ID
- 032877723
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN12(科学技術--機械工学・工業--精密機械)
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- Data Source
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- NDL