CMOSイメージセンサ向け界面準位低減効果を有する新たな機能性シリコンウェーハの研究
書誌事項
- タイトル別名
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- CMOS イメージセンサ ムケ カイメン ジュンイ テイゲン コウカ オ ユウスル アラタ ナ キノウセイ シリコンウェーハ ノ ケンキュウ
- Study on new functional silicon wafers with reduction effect of interface state density for CMOS image sensors
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収録刊行物
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- 応用物理
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応用物理 93 (1), 33-37, 2024-01
東京 : 応用物理学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520017586047243392
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- NII書誌ID
- AN00026679
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- ISSN
- 03698009
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- NDL書誌ID
- 033255876
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM17(科学技術--科学技術一般--力学・応用力学)
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- データソース種別
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- NDL