リセスゲートAlGaN/GaN-HEMT向け低ダメージドライエッチング
Bibliographic Information
- Other Title
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- リセスゲート AlGaN/GaN-HEMT ムケ テイダメージドライエッチング
- Low Damage Dry Etching for Recessed Gate AlGaN/GaN-HEMTs
- 電子デバイス
- デンシ デバイス
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- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
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電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 115 (156), 9-13, 2015-07
東京 : 電子情報通信学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882034308864
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- NII Article ID
- 40020559489
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- NII Book ID
- AA1123312X
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- ISSN
- 09135685
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- NDL BIB ID
- 026678124
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles