Deposition of High Quality Thin Films Using Electron Cyclotron Resonance (ECR) Plasma Sputtering

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  • トピックス 電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法を用いた高品質薄膜形成
  • トピックス デンシ サイクロトロン キョウメイ ECR スパッタホウ オ モチイタ コウヒンシツ ハクマク ケイセイ
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