Deposition of High Quality Thin Films Using Electron Cyclotron Resonance (ECR) Plasma Sputtering
Bibliographic Information
- Other Title
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- トピックス 電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法を用いた高品質薄膜形成
- トピックス デンシ サイクロトロン キョウメイ ECR スパッタホウ オ モチイタ コウヒンシツ ハクマク ケイセイ
- 電子サイクロトロン共鳴(ECR)スパッタ法を用いた高品質薄膜形成
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コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
Journal
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- 日本応用磁気学会誌
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日本応用磁気学会誌 26 (6), 823-828, 2002
東京 : 日本磁気学会
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882147228416
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- NII Article ID
- 110002811360
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- NII Book ID
- AN0031390X
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- ISSN
- 02850192
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- NDL BIB ID
- 6176117
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- Data Source
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- NDL Search
- NDL Digital Collections (NII-ELS)
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