5.低誘電率(Low-k)材料のドライエッチング(<小特集>ドライエッチングの科学と技術の新局面)
書誌事項
- タイトル別名
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- 低誘電率(Low-k)材料のドライエッチング
- テイユウデンリツ Low k ザイリョウ ノ ドライエッチング
- 5. Dry Etching Technology of Low Dielectric Constant (Low-k) Materials(<Special Topic Article>New Emerging Aspects of Science and Technology in Dry Etching)
- 低誘電率(Low-k)材料のドライエッチング
- Dry etching technology of low dielectric constant (low-k) materials
- 小特集 ドライエッチングの科学と技術の新局面
- ショウトクシュウ ドライエッチング ノ カガク ト ギジュツ ノ シン キョクメン
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説明
コレクション : 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
収録刊行物
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- プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編
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プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編 85 (4), 193-198, 2009-04
名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882175873024
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- NII論文ID
- 110007227632
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- NII書誌ID
- AN10401672
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- ISSN
- 09187928
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- NDL書誌ID
- 10289434
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM35(科学技術--物理学)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- NDLデジコレ（旧NII-ELS）
- CiNii Articles