解説 X線リソグラフィ技術の微細加工部品への応用
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- カイセツ Xセン リソグラフィ ギジュツ ノ ビサイ カコウ ブヒン エ ノ オウヨウ
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- 塑性と加工 = Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity : 日本塑性加工学会論文誌
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塑性と加工 = Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity : 日本塑性加工学会論文誌 44 (509), 584-588, 2003-06
東京 : 日本塑性加工学会 ; 1960-
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882251392000
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- NII Article ID
- 10010710144
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- NII Book ID
- AN00135062
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- ISSN
- 00381586
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- NDL BIB ID
- 6623209
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles