超LSI製造プロセス
Bibliographic Information
- Other Title
-
- チョウ lsi セイゾウ プロセス
- 超LSI技術への招待<特集>
- チョウ LSI ギジュツ ヘ ノ ショウタイ トクシュウ
Search this article
Journal
-
- 化学工学 = Chemical engineering of Japan
-
化学工学 = Chemical engineering of Japan 51 (5), p348-374, 1987-05
東京 : 化学工学会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520290882317022720
-
- NII Article ID
- 40000409462
-
- NII Book ID
- AN00037212
-
- ISSN
- 03759253
-
- NDL BIB ID
- 3130760
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles