反応性イオンプレーティング法による窒化アルミニウム皮膜形成に及ぼす窒素ガス圧およびイオン化電流の影響
Bibliographic Information
- Other Title
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- ハンノウセイ イオン プレーティングホウ ニ ヨル チッカ アルミニウム ヒマ
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Abstract
記事分類: 金属工学・鉱山工学--金属加工--表面処理
Journal
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- 金属表面技術 / 金属表面技術協会 [編]
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金属表面技術 / 金属表面技術協会 [編] 38 (6), p228-233, 1987-06
東京 : 金属表面技術協会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882436889088
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- NII Article ID
- 40000776697
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- NII Book ID
- AN00064951
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- ISSN
- 00260614
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- NDL BIB ID
- 3133570
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles
