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電磁駆動型シリコンMEMSレゾネータ
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- デンジ クドウガタ シリコン MEMS レゾネータ
- Electromagnetic Silicon MEMS Resonator
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 34 1-5, 2017
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan