書誌事項
- タイトル別名
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- ナノインプリント ・ パターン ノ マクロ ケンサ ギジュツ
- Macro Inspection technologies of nanoimprint pattern
- 特集 ナノインプリントリソグラフィ技術における微細化と低コスト化の現状
- トクシュウ ナノインプリントリソグラフィ ギジュツ ニ オケル ビサイカ ト テイコストカ ノ ゲンジョウ
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収録刊行物
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- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
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Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology 57 (5), 295-298, 2013-05
東京 : 砥粒加工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882550804864
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- NII論文ID
- 10031167477
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- NII書誌ID
- AN10192823
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- ISSN
- 09142703
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- NDL書誌ID
- 024651225
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN11(科学技術--機械工学・工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles