電空ハイブリッド超精密鉛直位置決め試験装置の製作とバランスシリンダの内圧制御に関する一考察
書誌事項
- タイトル別名
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- デンクウ ハイブリッド チョウセイミツ エンチョク イチギメ シケン ソウチ ノ セイサク ト バランスシリンダ ノ ナイアツ セイギョ ニ カンスル イチ コウサツ
- Development of a hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning device and investigation of pressure fluctuation in the balancing cylinder
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収録刊行物
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- 福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報 = Reports of the Electronics Research Laboratory, Fukuoka Institute of Technology
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福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報 = Reports of the Electronics Research Laboratory, Fukuoka Institute of Technology 31 19-23, 2014-10
福岡 : 福岡工業大学総合研究機構エレクトロニクス研究所
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290882758221952
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- NII論文ID
- 40020279878
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- NII書誌ID
- AN10015464
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- ISSN
- 0911050X
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- NDL書誌ID
- 025939938
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
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- データソース種別
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- NDLサーチ
- CiNii Articles