MEMSプロセスを用いた微細多段フィン構造の形成と樹脂への形状転写
書誌事項
- タイトル別名
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- MEMS プロセス オ モチイタ ビサイ タダン フィン コウゾウ ノ ケイセイ ト ジュシ エ ノ ケイジョウ テンシャ
- Fabrication of multi-fin structure using MEMS process and shape transfer to resin materials
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 35 4p-, 2018
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan