- 【Updated on May 12, 2025】 Integration of CiNii Dissertations and CiNii Books into CiNii Research
- Trial version of CiNii Research Knowledge Graph Search feature is available on CiNii Labs
- 【Updated on June 30, 2025】Suspension and deletion of data provided by Nikkei BP
- Regarding the recording of “Research Data” and “Evidence Data”
微細な波面収差の影響--半導体露光装置用投影レンズにおけるローカルフレア
Bibliographic Information
- Other Title
-
- ビサイ ナ ハメン シュウサ ノ エイキョウ ハンドウタイ ロコウ ソウチヨウ トウエイ レンズ ニ オケル ローカルフレア
- 光リソグラフィーにおける結像評価技術
- ヒカリ リソグラフィー ニ オケル ケツゾウ ヒョウカ ギジュツ
Search this article
Journal
-
- 光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
-
光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 34 (3), 124-131, 2005-03
東京 : 日本光学会
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520290882959591296
-
- NII Article ID
- 10014505069
-
- NII Book ID
- AN00080324
-
- ISSN
- 03896625
-
- NDL BIB ID
- 7333409
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZM35(科学技術--物理学)
-
- Data Source
-
- NDL Search
- CiNii Articles