超精密位置決め用空気圧サーボ軸受アクチュエータの開発

書誌事項

タイトル別名
  • チョウセイミツ イチギメ ヨウ クウキアツ サーボ ジクウケ アクチュエータ ノ カイハツ
  • Development of pneumatic servo bearing actuator for ultra-precise positioning
  • 特集 "超"を目指す気体軸受技術の最前線
  • トクシュウ チョウ オ メザス キタイ ジクウケ ギジュツ ノ サイゼンセン

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