極微細マルチゲートデバイスにおける面方位依存性の検討

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タイトル別名
  • ゴクビサイ マルチゲート デバイス ニ オケル メン ホウイ イソンセイ ノ ケントウ
  • Crystalline orientation effects on device characteristics in ultra-small multi-gate devices
  • VLSI設計技術
  • VLSI セッケイ ギジュツ

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