プラズマからの膜成長基礎過程--アモルファスシリコンとシリコン系合金
書誌事項
- タイトル別名
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- プラズマ カラ ノ マク セイチョウ キソ カテイ アモルファス シリコン ト
- プラズマによる膜生成とその特性評価<昭和61年度理研シンポジウム>
- プラズマ ニ ヨル マク セイセイ ト ソノ トクセイ ヒョウカ ショウワ 6
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 理化学研究所報告 / 理化学研究所 編
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理化学研究所報告 / 理化学研究所 編 63 (2), p41-43, 1987-06
和光 : 理化学研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290883127648768
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- NII論文ID
- 40003718273
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- NII書誌ID
- AN00248171
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- ISSN
- 00203084
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- NDL書誌ID
- 3139691
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZM2(科学技術--科学技術一般--大学・研究所・学会紀要)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles
