100mm径サファイア基板上に成長した高Al組成AlGaN/GaN HEMTのDC特性評価

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  • 100mmケイ サファイア キバン ジョウ ニ セイチョウ シタ コウAl ソセイ AlGaN GaN HEMT ノ DC トクセイ ヒョウカ

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