ポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発とその応用 : 研磨レートに及ぼすパッド表面性状の影響に関する多面的検討
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- ポリシングパッド ヒョウメン セイジョウ ノ テイリョウ ヒョウカ シュホウ ノ カイハツ ト ソノ オウヨウ : ケンマ レート ニ オヨボス パッド ヒョウメン セイジョウ ノ エイキョウ ニ カンスル タメンテキ ケントウ
- Development of Evaluation System of Polishing Pad Surface Asperity and Its Application : Effect of Pad Surface Asperity on Removal Rate
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- 砥粒加工学会学術講演会講演論文集 ABTEC / 砥粒加工学会学術講演会(ABTEC)実行委員会 編
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砥粒加工学会学術講演会講演論文集 ABTEC / 砥粒加工学会学術講演会(ABTEC)実行委員会 編 5-9, 2012
東京 : 砥粒加工学会