原子層堆積法により形成したPrAlOの結晶構造および電気的特性

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タイトル別名
  • ゲンシソウ タイセキホウ ニ ヨリ ケイセイ シタ PrAlO ノ ケッショウ コウゾウ オヨビ デンキテキ トクセイ
  • The crystalline structures and electrical properties of PrAlO formed by atomic layer deposition
  • シリコン材料・デバイス
  • シリコン ザイリョウ デバイス

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