薄膜キャパシタにおける誘電破壊特性測定装置の試作
書誌事項
- タイトル別名
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- ハクマク キャパシタ ニ オケル ユウデン ハカイ トクセイ ソクテイ ソウチ
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抄録
資料形態 : テキストデータ プレーンテキスト
収録刊行物
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- 応用電気研究所報告
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応用電気研究所報告 29 (4), p235-245, 1977-12
札幌 : 北海道大学応用電気研究所
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1520290883559780608
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- NII論文ID
- 40000276654
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- NII書誌ID
- AN00032285
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- ISSN
- 00307726
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- NDL書誌ID
- 1917310
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- 本文言語コード
- ja
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- NDL 雑誌分類
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- ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
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- データソース種別
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- NDL
- CiNii Articles