自己加熱式ステージを用いたチタンの熱反応性イオンエッチングとその最適化
書誌事項
- タイトル別名
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- ジコ カネツシキ ステージ オ モチイタ チタン ノ ネツ ハンノウセイ イオンエッチング ト ソノ サイテキ カ
- Thermal Reactive Ion Etching of Titanium Using a Self-heated Stage and Its Optimization
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収録刊行物
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- 「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編]
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「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集 電気学会センサ・マイクロマシン部門 [編] 32 1-5, 2015-10
[東京] : Institute of Electrical Engineers of Japan