HF+ヒドラジン溶液処理をしたエピタキシャル(100)ZrN(100)Si構造上への(100)Ir薄膜の作製

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  • HF ヒドラジン ヨウエキ ショリ オ シタ エピタキシャル 100 ZrN 100 Si コウゾウ ジョウ エ ノ 100 Ir ハクマク ノ サクセイ

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