外部磁場を印加した誘導結合プラズマ電子源の性能評価

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  • ガイブ ジバ オ インカ シタ ユウドウ ケツゴウ プラズマ デンシ ゲン ノ セイノウ ヒョウカ
  • Evaluation of Inductively Coupled Plasma Cathode with External Magnetic Field

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